Mô tả ngắn gọn về việc chuẩn bị mục tiêu Niobi

Mô tả ngắn gọn về việc chuẩn bị mục tiêu Niobi

Mục tiêu phún xạ hợp kim niobi molypden (10%) có triển vọng ứng dụng rộng rãi trong màn hình và-pin mặt trời màng mỏng. Tuy nhiên, do sự hấp thụ oxy của bột niobi trong quá trình thiêu kết, các phôi niobi molypden-thiêu kết có hàm lượng oxy cao và mật độ thấp. Nghiên cứu này đã điều chế bột niobi được phủ niobi carbon (NbC) thông qua phản ứng hơi hóa học trong khí quyển CH4.

Lớp NbC không chỉ ngăn chặn sự hấp thụ oxy mà còn phản ứng với nó để tiêu thụ hoàn toàn oxy ở nhiệt độ mong muốn. Ảnh hưởng của phương pháp điều chế, môi trường phản ứng và các thông số phản ứng đến tính chất của lớp NbC đã được nghiên cứu và xác định các điều kiện xử lý tối ưu: nhiệt độ 600 độ, thời gian phản ứng 270 phút và áp suất 0,04 MPa.

Hình thái bề mặt, thành phần hóa học, sự phân bố và tính đồng nhất của lớp phủ được đặc trưng bằng kính hiển vi điện tử quét, quang phổ quang điện tử tia X-, kính hiển vi đầu dò điện tử, quang phổ Raman và kính hiển vi lực nguyên tử. Hàm lượng oxy và carbon được xác định bằng máy phân tích ONH và CS. Bột niobi biến tính-bề mặt được trộn với bột molypden và thiêu kết trong chân không để tạo ra thỏi Mo-10%Nb có hàm lượng oxy là 190 ppm, hàm lượng cacbon là 290 ppm và mật độ tương đối là 93%. Chất lượng của thỏi này vượt trội hơn đáng kể so với thỏi được điều chế bằng bột niobi chưa biến tính.